多晶硅生产工艺流程_hcl指标

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多晶硅生产工艺流,多晶硅最主工艺包括，**、**的热氢化（采用氯氢化），精馏，还原，尾气回收，还有一些小的主项，制氢、**合成、废气废液的处理、硅棒的整理等等。主要反应包括：si+hcl---sihcl3+h2（**合成）;sicl4+h2---sihcl3+hcl（热氢化）;sihcl3+h2---sicl4+hcl+si（还原）多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。改良西门子法是目前主流的生产方法，采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的85％。但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美、德、日等7家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占全球多晶硅总产量的90%，它们形成的企业联盟实行技术封锁，严禁技术转让。短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变。西门子改良法生产工艺如下：这种方法的优点是节能降耗显著、成本低、质量好、采用综合利用技术，对环境不产生污染，具有明显的竞争优势。改良西门子工艺法生产多晶硅所用设备主要有：**合成炉，**沸腾床加压合成炉，**水解凝胶处理系统，**粗馏、精馏塔提纯系统，硅芯炉，节电还原炉，磷检炉，硅棒切断机，腐蚀、清